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電子封裝用AlN燒結工藝及機理-《南昌大學》2011年碩士論文

氮化鋁陶瓷常(chang)壓燒結致密(mi)(mi)化抗水(shui)性自(zi)擴散系數小,通常(chang)需要熱(re)壓燒結才能制備出高致密(mi)(mi)的氮化鋁陶瓷2.2實(shi)驗(yan)(yan)儀器設備和(he)原料31-322.3實(shi)驗(yan)(yan)方法32-332.3。

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氮化(hua)鋁(lv)陶瓷導熱性能良(liang)好(hao),是集成(cheng)電路基(ji)板和電子封(feng)裝(zhuang)的理想材料。但氮化(hua)鋁(lv)為強共價鍵結(jie)合物,熔點高,自擴散系數(shu)小,通常需要熱壓燒結(jie)才能制備出高致密的氮化(hua)鋁(lv)陶瓷。并(bing)且。

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氮化鋁(AlN)燒(shao)結爐溫(wen)度均勻性批量生(sheng)產(chan)《電子工業專用(yong)設(she)備(bei)》2010年06期加入收藏投稿氮化鋁尤其是在氮化鋁陶瓷批量生(sheng)產(chan)過程中(zhong),陶瓷燒(shao)結爐的溫(wen)度不均勻。

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但近幾年(nian)國際上(shang)很(hen)多國家在重視AlN基片材料研發工作的同時(shi),對氮化(hua)鋁陶瓷燒(shao)結(jie)(jie)爐(lu)的制(zhi)備也越來越重視,由此(ci)孕(yun)育出一些專業的氮化(hua)鋁陶瓷燒(shao)結(jie)(jie)設備制(zhi)造商,尤其是美國和日本。

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本文通過使用Y2O3、Li2CO3、Dy2O3、CaF2、CaO作(zuo)(zuo)為添(tian)加劑,研究不同添(tian)加劑對注射成型低溫燒結(jie)AlN提高致密度和(he)熱導(dao)率的作(zuo)(zuo)用。實驗結(jie)果表明(ming),使用Li2CO3,CaF2和(he)Y2O3。

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采用微波高溫燒(shao)結工藝,制備了(le)致密的AlN陶(tao)(tao)瓷(ci)(ci),并初步探討了(le)微波燒(shao)成環(huan)境對(dui)燒(shao)結體燒(shao)結陶(tao)(tao)瓷(ci)(ci)加工陶(tao)(tao)瓷(ci)(ci)相陶(tao)(tao)瓷(ci)(ci)量塊(kuai)陶(tao)(tao)瓷(ci)(ci)英語(yu)陶(tao)(tao)瓷(ci)(ci)機械陶(tao)(tao)瓷(ci)(ci)件陶(tao)(tao)瓷(ci)(ci)帽(mao)陶(tao)(tao)瓷(ci)(ci)設備。

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氮化(hua)(hua)鋁燒(shao)結級AlN-010-A1S產(chan)品AlN-010-A1S氮化(hua)(hua)鋁粉體經過成(cheng)型燒(shao)結程序制成(cheng):用於射頻IC、高(gao)功率IC、LED晶片載板(ban)(ban),高(gao)導熱電(dian)(dian)子基板(ban)(ban),LED路燈熱電(dian)(dian)燈板(ban)(ban),高(gao)導熱共燒(shao)陶瓷(ci)。

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微(wei)(wei)波(bo)燒(shao)結(jie)設備(bei)主要應用于燒(shao)結(jie)各種高品質的陶瓷、氮化硅、碳化硅、氧化鋁、氮化鋁、氧化鋯等(deng);燒(shao)結(jie)電子陶瓷器件:PZT壓(ya)電陶瓷、壓(ya)敏電阻等(deng)。所謂微(wei)(wei)波(bo)燒(shao)結(jie)或(huo)微(wei)(wei)波(bo)燃燒(shao)合成(cheng)。

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供(gong)應:燒結(jie)(jie)氮化(hua)鋁(lv)(lv)(工藝(yi)技(ji)術資(zi)料配方圖紙參(can)數)光盤(pan)當前價格(ge):200.00元1-BG52096含(han)碳的氮化(hua)鋁(lv)(lv)燒結(jie)(jie)體(ti)以(yi)及(ji)用于(yu)半導(dao)體(ti)制造(zao)檢測設(she)備的陶瓷基材(cai)2-BG。

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一種氮化鋁陶瓷的低溫燒結,包括(kuo)氮化鋁起(qi)始粉(fen)料選擇(ze),添加物的選擇(ze)以及燒結工藝參數的選擇(ze)。其特征在(zai)于:(1)以碳熱還原法及高溫自蔓延合(he)成法制備的AlN粉(fen)體為起(qi)始。

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微波燒結設備紙箱(xiang)刀(dao)具綠碳化硅砂倒角刀(dao)具優質(zhi)刀(dao)具泰珂(ke)洛刀(dao)具導熱/導熱粉(fen)/氮化鋁(lv)(lv)/氮化鋁(lv)(lv)粉(fen)導熱/導熱粉(fen)/氮化鋁(lv)(lv)/氮化鋁(lv)(lv)粉(fen)填充/填充劑/。

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本發(fa)明目的(de)(de)是(shi)提(ti)供一種能保持(chi)10#+〔8〕Ω.cm或更大(da)的(de)(de)體積(ji)電阻率的(de)(de)氮(dan)化(hua)鋁(lv)燒(shao)結體,能保證覆蓋能力,大(da)的(de)(de)輻(fu)射熱量(liang)和用(yong)溫度顯示器測定時的(de)(de)準確度。本發(fa)明的(de)(de)含碳氮(dan)化(hua)。

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一種氮化鋁燒結體(ti),其特征在于包含1-10%(重量)從周期(qi)表Ⅲa族元(yuan)素、Ca、Sr、Ba中選擇的少。

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華(hua)順系列陶瓷覆銅(tong)板(ban)(氮化鋁(lv)、氧化鋁(lv)、氮化硅)燒結爐廣泛應用於陶瓷覆銅(tong)板(ban)(DBC0在(zai)保(bao)護氣氛中的(de)(de)(de)鍵合、熱處理等工(gong)序。設(she)備針對(dui)陶瓷復合的(de)(de)(de)特殊工(gong)藝特點設(she)計了專有的(de)(de)(de)。

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[圖文]3.2.5高壓(ya)設備(bei)的高精度控制系(xi)統3.2.6腔體介質材料的選擇(ze)3.2.7加熱(re)源石墨3.3高壓(ya)燒(shao)結腔體設計3.4高壓(ya)燒(shao)結AlN陶瓷制備(bei)工藝流程3.4.1高壓(ya)燒(shao)結AlN。

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熱壓燒(shao)結AlN陶瓷,以自蔓(man)延高(gao)溫(wen)合(he)成(SHS)的(de)AlN粉體(ti)為(wei)原料,以Y2O3-B2O3-CaF2和(he)YF3-B-CaF2系為(wei)燒(shao)結助劑,采(cai)用熱壓燒(shao)結工(gong)藝制(zhi)備AlN陶瓷。結果表(biao)明(ming),采(cai)用燒(shao)結助劑,在。

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本論文(wen)探索了(le)(le)AlN陶瓷(ci)(ci)的(de)燒(shao)結技術(shu),利(li)用本實驗室原位合成(cheng)技術(shu)合成(cheng)的(de)AlN粉(fen)末制備出了(le)(le)高致(zhi)密,高導熱的(de)AlN陶瓷(ci)(ci)。研究了(le)(le)AlN陶瓷(ci)(ci)的(de)常壓(ya)燒(shao)結技術(shu)。通過熱力(li)學條件(jian)和(he)相圖的(de)。

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