鎢電極研磨工藝的機械化-《電焊機》2004年09期
2004年9月23日-鎢電(dian)(dian)極研磨(mo)工藝機械化焊接電(dian)(dian)極頭表面(mian)粗糙度(du)焊接工藝研磨(mo)機幾何形狀(zhuang)研磨(mo)砂輪焊縫(feng)質量。
一種減少鎢化學機械研磨微刮痕的工藝-200410066764-錢眼
一種(zhong)減少鎢化學機(ji)械(xie)研磨微(wei)刮痕的工藝,提供一半導體(ti)基底,其制作鎢插塞的主(zhu)要步驟有(you)光阻涂布(bu)、微(wei)影,蝕刻(ke)。
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2013年6月22日-鞏(gong)義市佛(fo)瑞機械廠(chang)是專業(ye)生(sheng)產鎢(wu)礦(kuang)選(xuan)(xuan)(xuan)礦(kuang)設(she)備(bei)的(de)廠(chang)家[供]鎢(wu)礦(kuang)石的(de)浮選(xuan)(xuan)(xuan)工(gong)藝流程(cheng),選(xuan)(xuan)(xuan)鎢(wu)礦(kuang)設(she)備(bei)價格,[供]專業(ye)生(sheng)產螺旋式振(zhen)動研磨(mo)機10/14[供。
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黝(you)圖1-6銅化學機械拋光(guang)工藝流程圖1-7雙嵌入形(xing)成(cheng)鎢插塞(sai)和局部(bu)互連1.3鎢鑲嵌圖3—2拋光(guang)速(su)率,均勻性和研磨臺轉速(su)的依存性(32藝條件拋光(guang)頭壓力(li)-250hap;。
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且所述鎢栓接觸孔或通孔的近圓度(du)(du)有(you)一定(ding)提(ti)高,并增(zeng)大(da)了后續光刻工藝(yi)窗口,增(zeng)大(da)后續工藝(yi)的穩定(ding)度(du)(du);所述改善鎢栓化學機械研磨表(biao)現的方法不(bu)僅(jin)提(ti)高金(jin)屬鎢沉(chen)積填充層研磨的。
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一(yi)種(zhong)改(gai)善接(jie)觸(chu)孔(kong)之鎢(wu)化學機械(xie)研磨(mo)后平坦性(xing)的(de)方法,包括:步驟S1:在硅(gui)基(ji)襯底上制備(bei)前(qian)道器件和絕緣介質層;步驟S2:在接(jie)觸(chu)絕緣介質層上淀積對鎢(wu)金屬具有高研磨(mo)選(xuan)擇(ze)比的(de)。
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多(duo)采用三級跳汰、多(duo)級床(chuang)選(xuan)(xuan)(xuan)、跳尾再(zai)磨,搖床(chuang)中(zhong)礦(kuang)掃選(xuan)(xuan)(xuan)的(de)貧富分選(xuan)(xuan)(xuan)或(huo)合(he)選(xuan)(xuan)(xuan)的(de)工(gong)藝流程(cheng)(cheng)。該流程(cheng)(cheng)適應(ying)鎢(wu)礦(kuang)石的(de)特(te)點,避(bi)免了過粉碎,強化(hua)了粗選(xuan)(xuan)(xuan)段。鄭州華昌(chang)機械(xie)制造有限(xian)。
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