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論文:摘(zhai)要:微(wei)(wei)電子機(ji)械(xie)系統(MEMS)是一項21世紀可(ke)以廣泛應(ying)用的新興技術。硅(gui)微(wei)(wei)機(ji)械(xie)加工工藝是近年來隨著集(ji)成電路工藝發展起來的MEMS主流技術。介紹(shao)了MEMS的特點。
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2011年10月14日-免責聲明:機械專家(jia)網(wang)對刊登(deng)之(zhi)(zhi)所有信(xin)息(xi)不聲明或保證其內容(rong)之(zhi)(zhi)正確性或可靠性;您于此接受并(bing)承認信(xin)賴任(ren)何信(xin)息(xi)所生之(zhi)(zhi)風險應自行承擔。機械專家(jia)網(wang)有權(quan)但無(wu)。
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硅微機械加工技術,作(zuo)者(zhe):(法)M.埃爾溫斯波克//(捷)H.揚(yang)森譯者(zhe):姜(jiang)巖峰,ISBN:9787502592585,化學(xue)工業,2008-05-01第(di)1版2008-05-01第(di)1次印刷(shua)。博庫(ku)網全場。
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