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2013年3月19日(ri)-1032CN200910020810.2一(yi)種(zhong)碳(tan)化(hua)(hua)硅基增(zeng)強復(fu)合陶瓷及制備(bei)方法(fa)1033CN200810237334.5一(yi)種(zhong)碳(tan)化(hua)(hua)硅匣(xia)缽磚生產工藝1034CN200710304217.1一(yi)種(zhong)用于微電(dian)子機械系(xi)統的碳(tan)化(hua)(hua)硅。
碳化硅_百度百科
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