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本(ben)發(fa)明(ming)公(gong)開了(le)一種碳(tan)化硅(gui)微(wei)粉回收(shou)的方法(fa),其特征在(zai)于(yu)將硅(gui)晶片加(jia)工工藝(yi)中的線切削廢(fei)砂漿進行(xing)多(duo)級(ji)處理,包(bao)括(kuo)如(ru)下步(bu)驟:固液分(fen)離、碳(tan)化硅(gui)粒度分(fen)級(ji)、碳(tan)化硅(gui)提純(chun)、微(wei)粉干燥。
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工(gong)藝是將(jiang)化工(gong)和(he)礦業加工(gong)技術相融合,結合電子材料加工(gong)的(de)特點,利用離心(xin)分(fen)離分(fen)散(san)、化學清洗(xi)、絮凝(ning)、萃(cui)取(qu)等分(fen)離原理和(he)方(fang)法,將(jiang)廢砂漿中的(de)雜質清除,得到合格的(de)碳(tan)化硅微粉和(he)。
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2013年(nian)8月14日-碳(tan)化(hua)硅冶煉過程中爐氣回(hui)收(shou)存在的主要(yao)問題有(you)三(san):一是(shi)安全性(xing)。碳(tan)化(hua)硅冶煉過程國內碳(tan)化(hua)硅冶煉、加工制砂微(wei)粉(fen)生產企業在前幾年(nian)市場(chang)形勢好的情況下,很少。
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2013年3月19日-510CN201110027122.6一種從硅(gui)(gui)片切割產生的廢砂漿中回收碳化硅(gui)(gui)微粉的方法511540CN201110121351.4一種刻面碳化硅(gui)(gui)寶(bao)石成(cheng)品的加(jia)工方法541CN201110092424.1一。