MEMS射頻薄膜體聲波諧振器(FBAR)研究
在固態裝配型諧(xie)振(zhen)器(SMR)方面,論(lun)文采(cai)用上述模型分(fen)析了四(si)分(fen)之一波(bo)長(chang)布拉格反射柵(zha)對(dui)其諧(xie)振(zhen)特性(xing)的影響,得(de)到了SMR器件獲得(de)理想(xiang)性(xing)能所需的少反射柵(zha)對(dui)數;另外,考慮到實際。
石英晶體諧振器行業技術文章_慧聰網
壓(ya)電(dian)層的(de)(de)典型(xing)(xing)厚度在幾個微米或壓(ya)力場看起來與(單晶的(de)(de))石英(ying)模式(shi)的(de)(de)石英(ying)這種類(lei)型(xing)(xing)的(de)(de)BAW被稱為固態裝配(pei)諧振器(SMR)。魯棒性而言,,則(ze)可減少諧振器。
ZnO固態裝配型諧振器(SMR)的模擬分析-《中國聲學學會2007年青年
ZnO固態裝配型諧(xie)振器(SMR)的(de)模擬(ni)分析湯亮(liang)郝震宏喬東海汪(wang)承灝摘要:正1引言近年來,薄膜體聲波諧(xie)振器(FBAR)由于其較(jiao)小的(de)體積以(yi)及可與IC電(dian)路進行單。
布喇格反射層對SMR性能影響的仿真分析_百度文庫
這(zhe)樣形成(cheng)的(de)諧振(zhen)器是固態裝配(pei)諧振(zhen)器(SMR)。在一(yi)個實施例中,襯底(di)12由硅(Si)制(zhi)(zhi)成(cheng),PZ層18由氮(dan)化(hua)鋁(AlN)制(zhi)(zhi)成(cheng)。或者,也可以使用其他的(de)壓電材料來制(zhi)(zhi)作(zuo)PZ層18。在一(yi)。
CN1845453A-使用填充凹進區的聲諧振器的性能增強-Google
基于CMOS工藝的(de)(de)高性(xing)能射頻濾(lv)(lv)波(bo)器(qi):體聲波(bo)濾(lv)(lv)波(bo)器(qi)BAW第2頁/共6頁<上(shang)一頁下這(zhe)種類型的(de)(de)BAW被稱為固態(tai)裝配諧振器(qi)(SMR)。魯棒性(xing)而言,SMR比膜結構(gou)的(de)(de)BAW要好。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器BAW_中華文本庫
這種類型的(de)BAW被稱為(wei)固態裝(zhuang)配(pei)諧振器(SMR)。魯(lu)棒性而言,SMR比膜結(jie)構的(de)BAW要(yao)好很多。在(zai)劃片和裝(zhuang)配(pei)所需的(de)各種標準工序(xu)中,沒有機械損壞的(de)風險。壓電(dian)層(ceng)和電(dian)極層(ceng)上。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器(BAW)
和電極做成(cheng)(cheng)(cheng)膜(mo)結(jie)構或一并(bing)沉(chen)積到一個(ge)薄的支撐膜(mo)上(shang),形成(cheng)(cheng)(cheng)空氣一固(gu)體交界面;還有一種(zhong)方式(shi)是采用“聲波鏡(jing)”形成(cheng)(cheng)(cheng)反射面來(lai)實現,這(zhe)種(zhong)結(jie)構被稱為“固(gu)態裝(zhuang)配諧(xie)振器(qi)(SMR)。
薄膜體聲波濾波器的材料設計及應用-豆丁網
鋯鈦酸鉛溶膠凝膠諧(xie)振器建立微型(xing)體聲(sheng)波(bo)諧(xie)振器機械結構(gou)的等(deng)效電路模(mo)型(xing),運(yun)用PSPICE軟件研究(jiu)4湯亮;郝震宏;喬東(dong)海;汪承灝;;ZnO固態(tai)裝配型(xing)諧(xie)振器(SMR)。
龍俞兆-技術總結-道客巴巴
[0003]壓電薄(bo)膜諧振(zhen)(zhen)器(qi)(qi)(qi)可以分類為FBAR(膜體聲(sheng)諧振(zhen)(zhen)器(qi)(qi)(qi))型和(he)SMR(固(gu)態裝配諧振(zhen)(zhen)器(qi)(qi)(qi))型。[0003]thepiezoelectricthinfilmresonatorcanbeclassifiedasFBAR。
PZT薄膜材料的生長與應用-《廈門大學》2009年碩士論文
上述聲(sheng)波器件的示例為(wei)諸如(ru)FBAR(膜(mo)體聲(sheng)波諧振器)和SMR(SolidlyMoutedResonator:固(gu)態裝(zhuang)配諧振器)的薄膜(mo)諧振器。Examplesoftheacousticwavedevicesuchas。
CN101083460B-Filterhavingmultiplepiezoelectricthin-
聲諧振器(qi)(qi)(10;110;和(he)210)包括少(shao)部分地(di)補償(chang)(chang)通過電(dian)極(ji)壓(ya)電(dian)疊層(ceng)(18)引入(ru)的溫(wen)(wen)度(du)感(gan)應效應的鐵磁補償(chang)(chang)器(qi)(qi)(20;120;和(he)220)。該補償(chang)(chang)器(qi)(qi)具有正(zheng)頻率溫(wen)(wen)度(du)系(xi)數,而疊層(ceng)具有負。
BAW_百度文庫
包含這(zhe)些壓電(dian)薄膜諧(xie)振(zhen)器(qi)的(de)濾波器(qi)也受到(dao)關注(zhu)。[0003]壓電(dian)薄膜諧(xie)振(zhen)器(qi)的(de)例子(zi)包括FBAR(薄膜腔聲諧(xie)振(zhen)器(qi),FilmBulkAcousticResonator)型和SMR(固態(tai)裝配諧(xie)振(zhen)器(qi),Solidly。
CN101136620B-Acousticwavedevice,filterandduplexer
將(jiang)上述壓(ya)電(dian)薄膜(mo)(mo)諧(xie)振器分為兩種類型,FBAR(薄膜(mo)(mo)腔聲諧(xie)振器)和(he)SMR(固態裝配諧(xie)振器)。FBAR包(bao)括層疊在(zai)諸如硅或玻璃的(de)基板上的(de)上電(dian)極(ji)(ji)膜(mo)(mo)、壓(ya)電(dian)膜(mo)(mo)和(he)下(xia)電(dian)極(ji)(ji)膜(mo)(mo)的(de)層疊結構。
布喇格反射層對SMR性能影響的仿真分析SimulationAnalysisof
包含這些壓電薄(bo)膜(mo)(mo)諧振(zhen)器(qi)的濾波器(qi)也受到(dao)關注。壓電薄(bo)膜(mo)(mo)諧振(zhen)器(qi)的例子包括(kuo)FBAR(薄(bo)膜(mo)(mo)腔聲諧振(zhen)器(qi),FilmBulkAcousticResonator)型和SMR(固態裝配(pei)諧振(zhen)器(qi),SolidlyMounted。
CN1340915A-聲波諧振器及在溫度變化時運行其以保持諧振的
另外值(zhi)得一提的是(shi),德國的Infneon公司在2003年推出了具有布拉格反(fan)射層結(jie)構(gou)的固貼式(又稱固態裝配型(xing))薄膜體聲(sheng)波(bo)諧振器(SMR-FBAR)[9-10].而我國關于。
CN1862959B-壓電薄膜諧振器與濾波器-Google
0引(yin)言固態(tai)引(yin)信諧振器是電子安全系(xi)統的重(zhong)要組成部分之一,它能在(zai)后坐加速度和旋轉離心力(li)的作用下向前運動,使限位保(bao)險處于(yu)鎖定狀(zhuang)態(tai),從而使引(yin)信處于(yu)待發狀(zhuang)態(tai)。但(dan)是,。
CN1677852A-諧振器濾波器以及諧振器的制造-Google
毫(hao)(hao)米(mi)波(bo)(bo)平(ping)面(mian)振(zhen)(zhen)蕩器(qi)基片(pian)集(ji)成波(bo)(bo)導相位(wei)噪聲雙(shuang)端(duan)口壓控振(zhen)(zhen)蕩器(qi)注入鎖定諧波(bo)(bo)振(zhen)(zhen)蕩器(qi)毫(hao)(hao)米(mi)波(bo)(bo)平(ping)面(mian)振(zhen)(zhen)蕩器(qi)是毫(hao)(hao)米(mi)波(bo)(bo)平(ping)面(mian)集(ji)成系統ZnO固態裝配型(xing)諧振(zhen)(zhen)器(qi)(SMR)的(de)模擬(ni)分析[。
CN1862959A-壓電薄膜諧振器與濾波器-Google
聲諧振器(qi)(10;110;和210)包括少部分地補償通過電(dian)極壓電(dian)疊(die)層(18)引(yin)入的(de)溫度感應效應的(de)鐵磁(ci)補償器(qi)(20;120;和220)。Theacousticresonator(10;110;and。
薄膜體聲波諧振器(FBAR)的結構制備工藝研究-會議論文-道客巴巴
關鍵詞:微波濾波器時域有(you)限(xian)差(cha)分(fen)法階梯阻抗諧(xie)振(zhen)器橢圓(yuan)函數濾波器多層(ceng)6湯亮;郝(hao)震(zhen)宏;喬東海;汪承灝(hao);;ZnO固態裝(zhuang)配型諧(xie)振(zhen)器(SMR)的模擬(ni)分(fen)析[A];。
固貼式薄膜體聲波諧振器用材料體系研究進展-豆丁網
摘要(yao)固(gu)(gu)態微型(xing)諧(xie)振器(qi)的(de)工作頻率高(gao)、功率容量(liang)大(da)、損耗低、體積小,是(shi)目前(qian)有(you)望(wang)第三種(zhong)為本研究采(cai)用反射層聲學隔(ge)離固(gu)(gu)定(ding)結構(gou)(SolidlyMountedResonatorSMR),如圖(tu)l一(yi)。
MEMS固態引信諧振器的系統級設計與仿真-《科技廣場》2007年09期
在固態裝(zhuang)配(pei)型(xing)(xing)諧(xie)振器(SMR)方(fang)面,論文采用上(shang)述(shu)模(mo)型(xing)(xing)分(fen)析了(le)四分(fen)之(zhi)一波長(chang)布拉(la)格(ge)反(fan)射柵對其(qi)諧(xie)振特性的影響,得到了(le)SMR器件獲得理想性能所需(xu)的少反(fan)射柵對數;另外,考慮到實(shi)際。
復合雙壓電層FBAR的建模與仿真楊成韜1,李健雄1,許紹俊2,銳1,-
這樣形成的諧振器(qi)是固態裝配諧振器(qi)(SMR)。Thethusformedassemblyoftheresonatoriidresonator(SMR).在一個實施例中,襯底12由硅(gui)(Si)制成,。
基于基片集成波導的高性能毫米波平面振蕩器研究與應用-《電子
大字報利用無線(xian)傳(chuan)感器(qi)網絡實現(xian)運動(dong)聲源(yuan)的(de)定位與跟蹤(zong)錄取(qu),報告用相(xiang)對運動(dong)幾何求解(jie)BOT問題ZnO固態裝(zhuang)配型諧振器(qi)(SMR)的(de)模擬(ni)分析PGC解(jie)調光纖(xian)傳(chuan)聲器(qi)技術的(de)討論一(yi)種單。
CN1229917C-Soundwaveresonator-Google
將上述壓電薄膜(mo)諧振器分為兩種類(lei)型,FBAR(薄膜(mo)腔聲諧振器)和(he)SMR(固態裝配諧振器)。FBAR包括層(ceng)疊(die)在(zai)諸如硅或玻璃的(de)基板上的(de)上電極膜(mo)、壓電膜(mo)和(he)下電極膜(mo)的(de)層(ceng)疊(die)。
無線通信系統中的微波濾波器性能及小型化研究-《上海大學》2004
2007年10月(yue)31日(ri)-壓電薄(bo)膜諧(xie)振(zhen)器(qi)可分成FBAR(薄(bo)膜塊體聲波諧(xie)振(zhen)器(qi))型(xing)和SMR(固態裝配(pei)諧(xie)振(zhen)器(qi),solidlymountedresonator)型(xing)。Thepiezoelectricthinfilmresonatormay。
基于MoTi布拉格反射層的固態微型諧振器與濾波器的研究-豆丁網
該傳感器是混合(he)型(xing)諧(xie)振(zhen)無源諧(xie)振(zhen)結構,其可以(yi)在制造過程中被集成(cheng)于(yu)車輛地面連接裝(zhuang)置HBAR“高模(mo)薄膜體聲波(bo)諧(xie)振(zhen)器”),或者帶有布拉格反射鏡(jing)(SMR“固態(tai)裝(zhuang)配型(xing)諧(xie)振(zhen)。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器BAW_百度文庫
該傳感器是混合型諧(xie)振(zhen)無源(yuan)諧(xie)振(zhen)結構,其可以(yi)在(zai)制造過(guo)程中被集(ji)成(cheng)于車輛地面連接裝置HBAR"高(gao)模(mo)薄(bo)膜體聲波(bo)諧(xie)振(zhen)器"),或者帶有布拉格反射鏡(SMR"固態裝配型諧(xie)振(zhen)器"。
院機構知識庫網格(CASIRGRID):MEMS射頻薄膜體聲波諧振器(
2010年6月16日-[0020]壓電薄(bo)膜諧(xie)振(zhen)器包括FBAR型(xing)和(he)SMR型(xing),其(qi)中FBAR是薄(bo)膜體聲波諧(xie)振(zhen)器(Film-BulkAcousticResonator)的縮寫,以及SMR是固(gu)態安裝(zhuang)諧(xie)振(zhen)器(SolidlyMounted。
CN1845453A-Acousticresonatorperformanceenhancement
2005年10月5日-將上述(shu)壓電薄膜(mo)諧振器分(fen)為兩(liang)種類型,FBAR(薄膜(mo)腔(qiang)聲(sheng)諧振器)和SMR(固(gu)態裝配諧振器)。Theabovepiezoelectricthinfilmresonatorisdividedinto。
薄膜諧振器技術概述_百度文庫
[0003]壓電(dian)(dian)薄膜諧振(zhen)器(qi)可分成FBAR(薄膜塊體(ti)聲波諧振(zhen)器(qi))型和SMR(固態裝配諧振(zhen)器(qi),solidlymountedresonator)型。FBAR具有由上部(bu)電(dian)(dian)極(ji)、壓電(dian)(dian)膜和下部(bu)電(dian)(dian)極(ji)構成的。