MEMS射頻薄膜體聲波諧振器(FBAR)研究
在固態裝配型(xing)諧振器(SMR)方面,論文采用上述模(mo)型(xing)分(fen)析了四分(fen)之一波長布拉格反射(she)柵對其諧振特性(xing)的影響,得(de)到(dao)了SMR器件獲得(de)理(li)想(xiang)性(xing)能所需的少反射(she)柵對數;另外,考(kao)慮到(dao)實際。
石英晶體諧振器行業技術文章_慧聰網
壓(ya)電層的(de)典(dian)型厚度在幾個微米或壓(ya)力場(chang)看起來與(yu)(單晶的(de))石英模(mo)式的(de)石英這種類型的(de)BAW被稱為固態裝(zhuang)配諧振(zhen)器(SMR)。魯棒性而言,,則可減少諧振(zhen)器。
ZnO固態裝配型諧振器(SMR)的模擬分析-《中國聲學學會2007年青年
ZnO固態裝配型諧(xie)振(zhen)器(SMR)的(de)模擬分析(xi)湯亮郝(hao)震(zhen)宏(hong)喬東海汪承灝(hao)摘要:正1引言近年(nian)來(lai),薄(bo)膜體聲(sheng)波諧(xie)振(zhen)器(FBAR)由于其較小的(de)體積(ji)以(yi)及可與IC電(dian)路進行單。
布喇格反射層對SMR性能影響的仿真分析_百度文庫
這樣形(xing)成(cheng)(cheng)的(de)諧振(zhen)(zhen)器是(shi)固態裝配諧振(zhen)(zhen)器(SMR)。在(zai)一(yi)個實(shi)施例中,襯底12由硅(Si)制成(cheng)(cheng),PZ層(ceng)18由氮(dan)化(hua)鋁(AlN)制成(cheng)(cheng)。或者,也(ye)可(ke)以使用其他(ta)的(de)壓電材料來制作PZ層(ceng)18。在(zai)一(yi)。
CN1845453A-使用填充凹進區的聲諧振器的性能增強-Google
基(ji)于CMOS工藝的高性(xing)能射(she)頻(pin)濾(lv)波(bo)器:體聲波(bo)濾(lv)波(bo)器BAW第2頁/共(gong)6頁<上(shang)一頁下(xia)這種(zhong)類型的BAW被稱(cheng)為(wei)固態(tai)裝配諧振(zhen)器(SMR)。魯棒(bang)性(xing)而言,SMR比膜結構的BAW要好。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器BAW_中華文本庫
這種(zhong)類型(xing)的BAW被稱(cheng)為固態裝(zhuang)配(pei)諧(xie)振(zhen)器(SMR)。魯棒性而言,SMR比膜結構的BAW要好很多(duo)。在劃片(pian)和(he)裝(zhuang)配(pei)所需的各(ge)種(zhong)標準工序中,沒有機械(xie)損(sun)壞的風險。壓電層(ceng)和(he)電極層(ceng)上。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器(BAW)
和電極(ji)做成膜(mo)結(jie)構(gou)或一(yi)并沉積到一(yi)個薄的支撐膜(mo)上(shang),形成空氣一(yi)固(gu)體(ti)交界面(mian);還有一(yi)種(zhong)方式(shi)是采用“聲波鏡”形成反射面(mian)來實現,這(zhe)種(zhong)結(jie)構(gou)被稱為“固(gu)態裝配諧振器(qi)(SMR)。
薄膜體聲波濾波器的材料設計及應用-豆丁網
鋯鈦酸鉛溶(rong)膠凝膠諧振器(qi)建立微型(xing)體聲波諧振器(qi)機械結構的等效(xiao)電路模型(xing),運(yun)用(yong)PSPICE軟件研究4湯(tang)亮;郝震宏;喬東海;汪承(cheng)灝;;ZnO固態(tai)裝配型(xing)諧振器(qi)(SMR)。
龍俞兆-技術總結-道客巴巴
[0003]壓(ya)電(dian)薄膜諧(xie)振器可以分類為FBAR(膜體(ti)聲諧(xie)振器)型(xing)和SMR(固態裝配諧(xie)振器)型(xing)。[0003]thepiezoelectricthinfilmresonatorcanbeclassifiedasFBAR。
PZT薄膜材料的生長與應用-《廈門大學》2009年碩士論文
上述聲波器(qi)(qi)件(jian)的示例為諸如FBAR(膜(mo)(mo)體(ti)聲波諧(xie)(xie)(xie)振器(qi)(qi))和SMR(SolidlyMoutedResonator:固態(tai)裝配諧(xie)(xie)(xie)振器(qi)(qi))的薄膜(mo)(mo)諧(xie)(xie)(xie)振器(qi)(qi)。Examplesoftheacousticwavedevicesuchas。
CN101083460B-Filterhavingmultiplepiezoelectricthin-
聲諧振器(qi)(10;110;和210)包括少部(bu)分(fen)地補償(chang)通過電極(ji)壓電疊(die)層(ceng)(18)引入的(de)溫度感應效(xiao)應的(de)鐵(tie)磁補償(chang)器(qi)(20;120;和220)。該(gai)補償(chang)器(qi)具有正頻率溫度系數,而疊(die)層(ceng)具有負。
BAW_百度文庫
包含這些壓電薄膜諧(xie)振(zhen)器(qi)(qi)的(de)濾(lv)波器(qi)(qi)也(ye)受(shou)到關注。[0003]壓電薄膜諧(xie)振(zhen)器(qi)(qi)的(de)例(li)子包括(kuo)FBAR(薄膜腔聲諧(xie)振(zhen)器(qi)(qi),FilmBulkAcousticResonator)型和SMR(固態裝配諧(xie)振(zhen)器(qi)(qi),Solidly。
CN101136620B-Acousticwavedevice,filterandduplexer
將上述壓(ya)電薄(bo)(bo)膜諧振(zhen)器分為兩種類型(xing),FBAR(薄(bo)(bo)膜腔聲諧振(zhen)器)和SMR(固態裝(zhuang)配諧振(zhen)器)。FBAR包(bao)括層(ceng)疊在諸如硅或玻璃(li)的基板(ban)上的上電極膜、壓(ya)電膜和下電極膜的層(ceng)疊結構。
布喇格反射層對SMR性能影響的仿真分析SimulationAnalysisof
包(bao)(bao)含這些(xie)壓(ya)電(dian)薄膜(mo)諧(xie)振(zhen)器的濾波(bo)器也受到(dao)關注。壓(ya)電(dian)薄膜(mo)諧(xie)振(zhen)器的例子包(bao)(bao)括FBAR(薄膜(mo)腔聲諧(xie)振(zhen)器,FilmBulkAcousticResonator)型和SMR(固態裝(zhuang)配(pei)諧(xie)振(zhen)器,SolidlyMounted。
CN1340915A-聲波諧振器及在溫度變化時運行其以保持諧振的
另外值得一提(ti)的(de)是,德國(guo)的(de)Infneon公司在(zai)2003年推出了具(ju)有布拉格反射層結構的(de)固貼(tie)式(又稱(cheng)固態裝(zhuang)配型)薄(bo)膜(mo)體(ti)聲波諧振器(qi)(SMR-FBAR)[9-10].而(er)我國(guo)關于。
CN1862959B-壓電薄膜諧振器與濾波器-Google
0引言固態(tai)引信諧振器是(shi)電(dian)子安(an)全系統(tong)的重(zhong)要組(zu)成部(bu)分之一,它(ta)能(neng)在后(hou)坐加速度和旋(xuan)轉離(li)心力的作用下向(xiang)前運動,使限(xian)位(wei)保險處(chu)于(yu)鎖定狀態(tai),從(cong)而使引信處(chu)于(yu)待發狀態(tai)。但是(shi),。
CN1677852A-諧振器濾波器以及諧振器的制造-Google
毫(hao)米(mi)波(bo)(bo)(bo)平(ping)面(mian)振蕩(dang)器基片(pian)集(ji)成波(bo)(bo)(bo)導相位噪聲(sheng)雙端口壓控振蕩(dang)器注入鎖定(ding)諧波(bo)(bo)(bo)振蕩(dang)器毫(hao)米(mi)波(bo)(bo)(bo)平(ping)面(mian)振蕩(dang)器是毫(hao)米(mi)波(bo)(bo)(bo)平(ping)面(mian)集(ji)成系(xi)統ZnO固態裝配型諧振器(SMR)的模擬分析[。
CN1862959A-壓電薄膜諧振器與濾波器-Google
聲諧振(zhen)器(10;110;和210)包括少(shao)部(bu)分地補償(chang)通(tong)過電極壓電疊層(18)引入的溫度感應效應的鐵磁補償(chang)器(20;120;和220)。Theacousticresonator(10;110;and。
薄膜體聲波諧振器(FBAR)的結構制備工藝研究-會議論文-道客巴巴
關鍵詞(ci):微波(bo)(bo)濾波(bo)(bo)器(qi)(qi)時域有限差分(fen)法階梯(ti)阻抗諧(xie)振器(qi)(qi)橢圓函數濾波(bo)(bo)器(qi)(qi)多層6湯亮;郝(hao)震宏;喬東海;汪承灝;;ZnO固(gu)態裝配型(xing)諧(xie)振器(qi)(qi)(SMR)的模擬分(fen)析(xi)[A];。
固貼式薄膜體聲波諧振器用材料體系研究進展-豆丁網
摘要(yao)固態(tai)微型諧振器的工作頻率高、功(gong)率容量大(da)、損耗低、體積(ji)小,是目前有望(wang)第(di)三種為(wei)本(ben)研(yan)究采用反射層聲(sheng)學(xue)隔(ge)離固定結構(SolidlyMountedResonatorSMR),如圖l一(yi)。
MEMS固態引信諧振器的系統級設計與仿真-《科技廣場》2007年09期
在固態裝配(pei)型諧(xie)振器(qi)(SMR)方面,論文采用上述(shu)模型分(fen)析了四分(fen)之一(yi)波(bo)長布(bu)拉格反射(she)柵對(dui)(dui)其諧(xie)振特性的影響,得(de)到了SMR器(qi)件獲得(de)理想性能所需(xu)的少反射(she)柵對(dui)(dui)數;另外(wai),考慮到實際。
復合雙壓電層FBAR的建模與仿真楊成韜1,李健雄1,許紹俊2,銳1,-
這樣形成(cheng)(cheng)的諧(xie)振(zhen)器(qi)是(shi)固(gu)態裝配諧(xie)振(zhen)器(qi)(SMR)。Thethusformedassemblyoftheresonatoriidresonator(SMR).在(zai)一個實施例(li)中,襯底12由硅(Si)制成(cheng)(cheng),。
基于基片集成波導的高性能毫米波平面振蕩器研究與應用-《電子
大字報利用無(wu)線傳(chuan)感器(qi)網絡實現運動(dong)聲源的(de)定位與跟蹤錄取(qu),報告用相對運動(dong)幾(ji)何求解(jie)BOT問題ZnO固態(tai)裝配型諧振(zhen)器(qi)(SMR)的(de)模(mo)擬分析PGC解(jie)調光纖傳(chuan)聲器(qi)技術的(de)討論一種單。
CN1229917C-Soundwaveresonator-Google
將上(shang)(shang)(shang)述(shu)壓電薄膜(mo)(mo)諧(xie)振(zhen)器(qi)分為兩種類型,FBAR(薄膜(mo)(mo)腔聲諧(xie)振(zhen)器(qi))和SMR(固態裝配諧(xie)振(zhen)器(qi))。FBAR包括層疊(die)在諸(zhu)如硅或玻璃的(de)基板上(shang)(shang)(shang)的(de)上(shang)(shang)(shang)電極膜(mo)(mo)、壓電膜(mo)(mo)和下電極膜(mo)(mo)的(de)層疊(die)。
無線通信系統中的微波濾波器性能及小型化研究-《上海大學》2004
2007年(nian)10月31日-壓電薄膜諧振器(qi)可分成FBAR(薄膜塊體聲波諧振器(qi))型(xing)和SMR(固態裝配諧振器(qi),solidlymountedresonator)型(xing)。Thepiezoelectricthinfilmresonatormay。
基于MoTi布拉格反射層的固態微型諧振器與濾波器的研究-豆丁網
該傳感器是混合型諧振無源(yuan)諧振結構,其可以在(zai)制造過(guo)程(cheng)中被集(ji)成于車(che)輛地(di)面連(lian)接(jie)裝置HBAR“高模薄膜體聲波諧振器”),或者帶有布拉格(ge)反射鏡(SMR“固(gu)態(tai)裝配型諧振。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器BAW_百度文庫
該傳感(gan)器是混(hun)合(he)型(xing)諧振(zhen)無源諧振(zhen)結構,其(qi)可以在制造過程中被集成于車輛地面連(lian)接(jie)裝置HBAR"高模(mo)薄膜體(ti)聲波諧振(zhen)器"),或者(zhe)帶(dai)有布拉格(ge)反射鏡(SMR"固態(tai)裝配(pei)型(xing)諧振(zhen)器"。
院機構知識庫網格(CASIRGRID):MEMS射頻薄膜體聲波諧振器(
2010年(nian)6月(yue)16日-[0020]壓(ya)電(dian)薄(bo)膜(mo)諧(xie)振器(qi)包括(kuo)FBAR型和(he)SMR型,其中FBAR是薄(bo)膜(mo)體(ti)聲波諧(xie)振器(qi)(Film-BulkAcousticResonator)的縮寫,以及SMR是固態安裝諧(xie)振器(qi)(SolidlyMounted。
CN1845453A-Acousticresonatorperformanceenhancement
2005年10月5日-將上述壓電(dian)薄(bo)膜(mo)諧(xie)振(zhen)器分為(wei)兩(liang)種類型,FBAR(薄(bo)膜(mo)腔聲諧(xie)振(zhen)器)和SMR(固態裝配諧(xie)振(zhen)器)。Theabovepiezoelectricthinfilmresonatorisdividedinto。
薄膜諧振器技術概述_百度文庫
[0003]壓電(dian)(dian)(dian)(dian)薄膜(mo)(mo)諧振器(qi)可分成(cheng)(cheng)FBAR(薄膜(mo)(mo)塊體聲波諧振器(qi))型(xing)和SMR(固態裝配諧振器(qi),solidlymountedresonator)型(xing)。FBAR具有(you)由上部電(dian)(dian)(dian)(dian)極(ji)、壓電(dian)(dian)(dian)(dian)膜(mo)(mo)和下部電(dian)(dian)(dian)(dian)極(ji)構成(cheng)(cheng)的(de)。